若干

微电子学院/集成电路学院

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微电子学院/集成电路学院

光刻工艺工程师

若干

1.负责光刻工艺设备(包括手动双面对准光刻机MA6/BA6、EVG、MLA激光直写光刻机、电子束曝光机、纳米压印光刻机等)的日常操作、维护及故障处理,确保设备稳定运行;2.管理光刻胶、显影液、去胶液、清洗溶剂等关键耗材的采购、验收、储存、使用记录和废液处理,确保符合环保和安全规定(如MSDS管理);3.光刻工艺开发与优化:为常规教学实验(如微电子实验课)和研究项目提供成熟、稳定的标准光刻工艺流程(如特定胶厚、线宽)的技术支持和操作指导。编写、更新和维护详细的标准操作程序、工艺配方、设备操作指南、安全规范等技术文档;4.用户培训:对所有新进入超净间,特别是需要使用光刻区域的学生、教师和访问学者进行超净间安全规范、洁净室行为准则以及光刻设备/工艺基础知识的培训;对获得授权使用特定光刻设备的用户进行详细的操作培训,确保其能安全、规范、独立地操作设备。

联系人:蒋老师联系电话:020-81182138联系邮箱:jiangchao@scut.edu.cn

1.硕士研究生及以上学历,微电子、光电、材料、化学、物理、机械工程等专业优先;2.具备光刻机(接触式/激光直写/电子束曝光)、匀胶机、烘烤台、显影设备等核心设备的操作经验;具有2年以上量产线或工艺平台光刻工艺经验者优先;3.持有危化品管理证者优先考虑;4.责任心强、踏实肯干、动手能力强,具有较强的管理能力和组织协调能力。