1.承担半导体及微纳加工设备全生命周期管理工作，涵盖图形化（光刻、刻蚀）、薄膜沉积（镀膜、外延）、掺杂（扩散、离子注入）、表面处理与平坦化（清洗、减薄、研磨、抛光）、封装、测试与可靠性验证（检测、量测、可靠性测试）等工艺环节的各类设备；统筹设备安装调试、验收交付、日常运维、故障维修与功能升级，编制设备操作规程及各类技术文档，管理备品备件采购与设备资产台账。

2.开展微纳加工工艺的开发、迭代与落地应用，对接学院教师科研需求，输出专业工艺解决方案，处置各类工艺技术难题。

3.面向平台用户开展设备操作培训、工艺技术指导；承接样品加工任务，提供设备、工艺方向的技术支撑服务。

4.落实平台用户管理，统筹设备机时调度，协调工艺实验相关条件。

5.负责超净间实验室安全管理工作，落实日常安全巡检、危险源管控、应急预案落地、安全宣教培训，保障实验室运行满足安全规范。

6.做好设备运行状态巡检、数据记录与相关考核工作。

7.完成学院及平台交办的其他工作任务。